Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U006630, ( 0207U004595  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія і фізика наноструктурованих неметалічних плівок Керівник роботи Лашкарьов Г. В., Дата реєстрації 02-06-2004 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис роботи Створення нових технологій вирощування наноструктурованих напівпровідникових плівок для квантової електроніки; виявлення фундаментальних фізико-хімічних механізмів, що обумовлюють вплив розмірних ефектів на властивості тонких сегнетоелектричних плівок; удосконалення PECVD технології осадження композитних зносостійких покриттів на основі наноструктурованого TiN; розробка технології виготовлення нанокристалічних плівок на основі оксидів РЗМ. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити