Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U008096, Науково-дослідна робота Назва роботи Оптимізація технологічних параметрів отримання монокристалів карбіду кремнію із заданими структурними характеристиками Керівник роботи Кисельов В.С., Дата реєстрації 06-08-2004 Організація виконавець Державне підприємство "Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з дослідним виробництвом Інституту фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова Національної академії наук України" Опис роботи Оптимізація параметрів ростового процесу для отримання монокристалів карбіду кремнію з заданими структурними характеристиками. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити