Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U008910, ( 0205U006477  0207U005610  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Багатофункціональна система діагностики наноструктур з використанням багатошарової рентгенівської оптики Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 25-10-2004 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Створення нових приладів та методик для аналізу мікрошорсткості, товщини і густини шарів і плівок, будь-яких матеріалів, і зокрема, напівпровідникових наноструктур в нанометровому діапазоні 0,1-10нм, які дадуть можливість проведення безконтактного експрес аналізу за термін до 10 хвилин. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити