Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0104U009135, Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел. Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 05-10-2004 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис роботи Дослідження процесів легування пластин кремнію фосфором з використанням експериментальних зразків - твердих планарних джерел, виготовлених кафедрою НПЕ НУ "Львівська політехніка" на замовлення ВАТ ЦКБ "Ритм" на технологічному обладнанні замовника Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити
НДДКР РК
Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел.
Керівник: Островський Ігор Петрович. Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел.. Національний університет "Львівська політехніка". № 0104U009135
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку