Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U009357, Науково-дослідна робота Назва роботи Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування Керівник роботи Батурін Володимир Андрійович, Дата реєстрації 07-01-2004 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис роботи Розробка технічних пропозицій по створенню вакуумної установки для виготовлення тонких плівок, яка буде відповідати сучасним вимогам універсальності, гнучкості та можливості реалізаціх різноманітних технологічних процесів Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити