Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U009359, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок Керівник роботи Батурін Володимир Андрійович, Дата реєстрації 07-01-2004 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис роботи Створення високочастотного генератора, який дозволить одержувати в розрядній камері установки для формування тонких плівок високочастотний магнетронний розряд в різних газових сумішах Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити