Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0104U009470, ( 0207U002889  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка методів неорганічної фотолітографії для отримання рельєфних мікроструктур на металевих та діелектричних підкладках оптичних носіїв інформації. Керівник роботи Рубіш В.М., Дата реєстрації 12-11-2004 Організація виконавець Ужгородське відділення елементів і структур оптоінформатики Опис роботи Пошук нових склоподібних халькогенідів, розробка методик глибокої очистки вихідних матеріалів, синтез сплавів, нанесення плівок на різні підкладки та їх опромінення, підбір травників та дослідження кінетики травлення, розробка технологічних умов виготовлення негативних та позитивних фоторезистів на підкладках площею до 200 см.кв. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити