Знайдено документів: 1
Керівник: Ларкін Сергій Юрійович. Проведення технологічних досліджень по зменшенню паразитної ємності в процесі створення надвисокочастотних транзисторів з нанорозмірними активними шарами..
Державний науково-дослідний центр "Фонон". № 0104U009813
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-20
