Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0105U001375, ( 0209U001973  ) Науково-дослідна робота Назва роботи "Дослідження стійкості захисних масок з нікелю в умовах плазмохімічного травлення напівпровідникових матеріалів в плазмі ВЧ-розряду з керованими магнітними полями" Керівник роботи Борисенко Анатолій Григорович, Дата реєстрації 04-03-2005 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис роботи Дослідження впливу величини енергії плазмових іонів на стійкість нікелевих захисних масок, які отримані за допомогою різних вакуумних технологій, в умовах плазмохімічного травлення прошарків напівпровідникових матеріалів, нанесених на діелектричні підкладинки, в плазмі ВЧ-розряду. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити
НДДКР РК
"Дослідження стійкості захисних масок з нікелю в умовах плазмохімічного травлення напівпровідникових матеріалів в плазмі ВЧ-розряду з керованими магнітними полями"
Керівник: Борисенко Анатолій Григорович. "Дослідження стійкості захисних масок з нікелю в умовах плазмохімічного травлення напівпровідникових матеріалів в плазмі ВЧ-розряду з керованими магнітними полями". Інститут ядерних досліджень НАН України. № 0105U001375
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-22


Роздрукувати цю сторінку