Знайдено документів: 1
Керівник: Пузіков Вячеслав Михайлович. Дослідження процесів низькотемпературного формування плівок SiC з нанорозмірними елементами на основі композиційного розупорядкування в умовах осадження іонів низької енергії.
Інститут монокристалів НАН України. № 0105U003752
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-14
