Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0106U000095, ( 0207U005103  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання монолітних МЕМС- структур на основі п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінію для радіоелектронних пристроїв та систем зв'язку Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 16-01-2006 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є дослідження і розробка технології отримання і вивчення структури п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінію та створення на їх основі сучасних пристроїв фільтрації сигналів зі збудженням резонансних об'ємних коливань. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити