Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0106U002151, ( 0207U006996  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження розрядів низького тиску для застосування в технологіях електронно-променевого осадження покриттів із бінарних сполук. Керівник роботи Денбновецький С. В., Дата реєстрації 21-02-2006 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є визначення властивостей та характеристик розрядів низького тиску для застосування в технологіях осадження покриттів із бінарних хімічних сполук методом електронно-променевого випаровування в контрольованому газовому середовищі з його активацією. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Денбновецький С. В.. Дослідження розрядів низького тиску для застосування в технологіях електронно-променевого осадження покриттів із бінарних сполук.. Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". № 0106U002151
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14