Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0106U004069, ( 0209U008492  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Математична модель та мікроелектронна технологія комбінованих МЕМС - структур на основі п'єзоелектричних мембран Керівник роботи Жуйков Валерій Якович, Дата реєстрації 24-03-2006 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є дослідження створенних за мікроелектронною технологією комбінованих МЕМС - структур на основі п'єзоелектричних мембран для функціональних інтегральних схем. Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити