Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U000441, ( 0210U001228  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Моделювання процесів масоперенесення при напилюванні тонких плівок енергетичними частинками Керівник роботи Корніч Григорій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 29-01-2007 Організація виконавець Запорізький національний технічний університет Опис роботи Метою дослідження є побудова аналітичної та молекулярнодинамічної моделей процесів приповерхневого масоперенесення, які відбуваються при осадженні тонких плівок енергетичними частинками, для застосування їх в розробці перспективних технологій наноелектроніки. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити