Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0107U000751, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів Керівник роботи Шаран Микола Миколаєвич, Дата реєстрації 08-02-2007 Організація виконавець Науково-дослідний центр радіоелектроніки "Полюс" Опис роботи Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів
Керівник: Шаран Микола Миколаєвич. Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів. Науково-дослідний центр радіоелектроніки "Полюс". № 0107U000751
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку