Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U002212, ( 0209U010444  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Формування стабільних нанорозмірних плівкових композицій в НВЧ діодах діапазону 33-140 ГГц, що виготовляються за кремнієвою технологією Керівник роботи Макогон Юрій Миколайович, Дата реєстрації 26-02-2007 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи 1.Встановлення закономірностей формування стабільних нанорозмірних плівкових композицій на монокристалічному кремнії для НВЧ діодів діапазону 33-140 ГГц, що виготовляються за кремнієвою технологією. 2. Підвищення температурно-часової стійкості і стійкості до електроміграції за рахунок мінімізації процесів міжшарової взаємодії в багатошаровій плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(10-100 нм)/SiO2(370 нм)/Si(001) як функціонального елементу багатофункціональної НБІС. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити