Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0107U002710, ( 0208U002944  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методик і проведення вимірювань часової залежності температури поверхні, що розвивається в процесі осадження плівок металів та тугоплавких сполук Керівник роботи Шагінян Леонід робертович, Дата реєстрації 22-03-2007 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис роботи Провести вимірювання температури що розвивається на поверхні росту плівок металів та тугоплавких сполук на прикладі Cu, Ti, Cr, W, TiN в процесі їх осадження магнетронним розпиленням і вивчити природу цього ефекту. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Шагінян Леонід робертович. Розробка методик і проведення вимірювань часової залежності температури поверхні, що розвивається в процесі осадження плівок металів та тугоплавких сполук. Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України. № 0107U002710
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18