Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U005194, ( 0209U002763  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення методів діагностики наноструктур у процесі виробництва та створення на їх основі сучасної діагностичної лабораторії загального користування Керівник роботи Ларкін Сергій Юрійович, Дата реєстрації 05-06-2007 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис роботи Розробка методів діагностики наноструктур за допомогою скануючої зондової мікроскопії і створення вимірювального устаткування діагностичної лабораторії загального користування для контролю мікроелектронного виробництва з рівнем 130/65/45 нм і менше. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити