Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U005196, ( 0209U002760  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та створення сучасної нанотехнологічної лабораторної лінії з виготовлення наноструктурних елементів на базі російсько-українського технологічного модуля Nanofab Керівник роботи Галстян Георг Гагікович, Дата реєстрації 05-06-2007 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис роботи розробка високовакуумних і надвисоковакуумних сумісних аналітичних і технологічних модулів з можливістю їх компонування в єдину технологічну лінію під конкретний технологічний цикл для вирішення завдань розробки і дрібносерійного виробництва виробів наноелектроніки з мінімальними топологічними конструктивно-технологічними обмеженнями до 5 нм. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити