Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U005753, ( 0208U000849  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка мікросистемної технології сенсорних та мікромеханічних систем на основі кремнію Керівник роботи Козловський Сергій Іванович, Дата реєстрації 04-07-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є розробка мікросенсорної технології прецизійного інтегрального перетворювача тиску з надмалою похибкою вимірювання (менше 0.1 %), у якого чутливий елемент відокремлений від середовища розділяючою мембраною Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити