Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U005772, ( 0208U002027  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Створення діагностичного комплексу рентгенодифрактометричних, рентгеноспектральних і СЗМ методик контролю та атестації напівпровідникових матеріалів і структур Керівник роботи Мачулін Володимир Федорович; Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 04-07-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є розробка метрологічного забезпечення для рентгенодифрактометричного контролю структурної досконалості складних об'єктів різної природи та методів скануючої зондової мікроскопії (СЗМ) для діагностики структурних, механічних, електричних, магнітних та ін. властивостей матеріалів та приладів з великим ступенем локальності (одиниці нанометрів), а також можливостей керованої модифікації поверхонь із субнанометровою роздільною здатністю Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити