Знайдено документів: 1
Керівник: Литовченко Володимир Григорович; Лісовський Ігор Петрович. Розробка методів та устаткування оптичної діагностики нанорозмірного Si.
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0107U005782
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-19
