Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U005784, ( 0208U000763  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методів і апаратури діагностики матеріалів електронної техніки, шаруватих структур та мікроелектронних приладів на основі Оже-електронної спектроскопії Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, Дата реєстрації 04-07-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є розробка та створення сучасної методики визначення компонентного складу в матеріалах і структурах електронної техніки з використанням методу Оже-електронної спектроскопії Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити