Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U008219, ( 0208U005792  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка високоефективної прецизійної технології очищення поверхні тонких шарів напівпровідникових, діелектричних та металевих матеріалів Керівник роботи Чуба Євген Маркіянович, Дата реєстрації 01-10-2007 Організація виконавець Науково-виробнича корпорація "Київський інститут автоматики" Опис роботи Розроблення високоефективної прецизійної технології очищення поверхні напівпровідникових, діелектричних та металевих тонких шарів від твердих часток та іонних забруднень за допопогою розчинів поверньоактивних речовин та лужних розчинів, яка забезпечує створення стану технологічно-чистої поверхні на різних етапах виготовлення напівпровідникових виробів Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити