Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U008524, ( 0210U006372  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка мікроелектронного газового датчику сірководню на основі нанопористих шарів для контролю навколишнього середовища Керівник роботи Литовченко Володимир Григоровичx, Дата реєстрації 24-10-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка технології виготовлення мікроелектронного датчика до сірководню на основі нанопористого кремнію. Дослідження впливу вологості атмосфери на стабільність параметрів датчику та на його селективність і чутливість до низьких концентрацій сірководню у повітрі. Розробка спеціальних технологічних операцій для зниження залежності газочутливих параметрів датчику від вологості повітря та газових сумішей. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити