Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0107U009943, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка вакуумної системи для одержання наноструктур кремнія та германія Керівник роботи Фонкич Олександр Михайлович, Дата реєстрації 08-11-2007 Організація виконавець Державне підприємство "Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з дослідним виробництвом Інституту фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова Національної академії наук України" Опис роботи Створення вакуумної системи для одержання вакууму в реакційній камері для одержання наноструктур кремнія та германія Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Фонкич Олександр Михайлович. Розробка вакуумної системи для одержання наноструктур кремнія та германія. Державне підприємство "Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з дослідним виробництвом Інституту фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова Національної академії наук України". № 0107U009943
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15