Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0107U010814, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка універсального джерела іонів для малоенергоємного іонно-радикального травління матеріалів мікроелектроніки на базі комбінованого індукційно-ємнісного ВЧ-розряду Керівник роботи Дудін Станіслав Валентинович, Дата реєстрації 20-11-2007 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис роботи Розробка універсального джерела іонів низьких енергій для використання в технологіях травління елементів мікро- та наноелектроніки. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка універсального джерела іонів для малоенергоємного іонно-радикального травління матеріалів мікроелектроніки на базі комбінованого індукційно-ємнісного ВЧ-розряду
Керівник: Дудін Станіслав Валентинович. Розробка універсального джерела іонів для малоенергоємного іонно-радикального травління матеріалів мікроелектроніки на базі комбінованого індукційно-ємнісного ВЧ-розряду. Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна. № 0107U010814
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-20


Роздрукувати цю сторінку