Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U011300, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка сенсорних МЕМС-елементів на основі твердотільних структур Керівник роботи Венгер Євген Федорович, Дата реєстрації 07-12-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є розробка технології низькотемпературного синстезу та дослідження властивовстей наноструктурних плівкових матеріалів на основі сполук кремнію для створення нових функціональних мікроелектронних сенсорних МЕМС-елементів Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити