Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0107U011412, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка сенсорних МЕМС-елементів на основі твердотільних структур Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 17-12-2007 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є розробка сенсорних МЕМС-елементів на основі низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок сполук кремнію Si:Y, Si:Eu, Si:Ho. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити