Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U001310, ( 0209U002737  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Вивчення залежності ефекту аномально високої температури поверхні конденсації, що виникає в процесі осадження плівок, від метода осадження, на прикладі магнетронного розпилення і вакуумно-дугового випарювання Керівник роботи Шагінян Леонід робертович, Дата реєстрації 07-02-2008 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис роботи Провести вимірювання різниці температур підкладки і поверхні росту плівок металів на прикладі Cu, Ti, Zr, W, Мо в процесі їх осадження двома різними методами - магнетронним розпиленням і вакуумно-дуговим випарюванням, встановити спільні і різні риси цього явища для даних методів та уточнити природу цього ефекту Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити