Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0108U001476, ( 0211U006020  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій Керівник роботи Семенов Олександр Володимирович, Дата реєстрації 20-02-2008 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис роботи Розробка фізико-хімічних основ технології одержання плівок карбіду кремнію різних політипів в умовах прямого осадження іонів вуглецю і кремнію Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій
Керівник: Семенов Олександр Володимирович. Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій. Інститут монокристалів НАН України. № 0108U001476
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-21


Роздрукувати цю сторінку