Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U004834, ( 0214U008016  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення технологій вирощування низькотемпературних наноструктурних сполук кремнію для мікроелектронних сенсорів Керівник роботи Мітін Вадим Федорович, Дата реєстрації 20-05-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка нових оригінальних технологій та методів мікрообробки і мікропрофілювання напівпровідників, наноструктурованих та нанопористих шарів, зокрема матеріалів на основі сполук кремнію для створення нових функціональних мікроелектронних сенсорів фізичних величин. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити