Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U007257, Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки Керівник роботи Федоренко Леонід Леонідович, Тетьоркін Володимир Володимирович, Дата реєстрації 17-07-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка методів діагностики компонентного складу субмікронних шарів, напівпровідникових наноструктур і нанокомпозитних матеріалів із нанометровою роздільною здатністю для визначення профілів атомних концентрацій хімічних елементів (Si, Ge, Te, C, N, S, Cr, Mn, Sn, Sb, Pb та ін.) в твердих тілах на субмікронних глибинах; створення на базі розроблених методів системи лазерної спектроскопії для експресного елементного аналізу Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити