Реєстраційний номер
0108U007257,
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки
Керівник роботи
Федоренко Леонід Леонідович, Тетьоркін Володимир Володимирович,
Дата реєстрації
17-07-2008
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис роботи
Розробка методів діагностики компонентного складу субмікронних шарів, напівпровідникових наноструктур і нанокомпозитних матеріалів із нанометровою роздільною здатністю для визначення профілів атомних концентрацій хімічних елементів (Si, Ge, Te, C, N, S, Cr, Mn, Sn, Sb, Pb та ін.) в твердих тілах на субмікронних глибинах; створення на базі розроблених методів системи лазерної спектроскопії для експресного елементного аналізу
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
