Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U007460, ( 0209U010902  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології введення ультразвукових коливань в кремнієві пластини для формування нанорозмірних прихованих шарів SiO2, Si3N4 та p-n переходів Керівник роботи Мартинюк Яків Васильович, Дата реєстрації 24-07-2008 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Створення нанорозмірних бездефектних прихованих шарів та p-n переходів шляхом введення ультразвукових (УЗ) коливань і напружень в кремнієві пластини для підвищення якості виробів мікро- та наноелектроніки Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити