Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U009661, ( 0209U008534  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Оптимізація параметрів геліконного джерела плазми при підвищених робочих тисках аргону Керівник роботи Шамрай Костянтин Павлович, Дата реєстрації 29-10-2008 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис роботи Виявлення особливостей режимів розряду в геліконному джерелі плазми при підвищених тисках робочого газу-аргону; знаходження методів керування параметрами вихідного плазмового потоку; виробка рекомендацій з оптимізації параметрів джерела для роботи з молекулярними газами в технологіях вирощування наноструктур. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити