Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0108U009662, ( 0210U004180  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Модернізація технологічної дільниці піролітичних процесів. Модернізація установки осадження з парогазової фази при низькому тиску (LP CVD) "Изотрон 2М" для нанесення епітаксіальних плівок SiGe та Si Керівник роботи Сидоренко Володимир Павлович, Дата реєстрації 29-10-2008 Організація виконавець Державне підприємство "Науково-дослідний інститут мікроприладів" НТК "Інститут монокристалів" НАН України Опис роботи Проведення робіт по модернізації установки осадження з парогазової фази при низькому тиску (LP CVD) "Изотрон 2М" для нанесення епітаксіальних плівок SiGe та Si" (відновлення вакуумної та газової системи, перевірка роботи окремих вузлів і блоків системи). Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити