Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0108U009822, Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка малогабаритного ВЧ діодного реактора з розподіленим напуском та відкачкою газу для процесів плазмохімічного травлення з високою рівномірністю. Керівник роботи Дудін Станіслав Валентинович, Дата реєстрації 13-11-2008 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис роботи Розробка малогабаритної малоенергоємної настільної установки з ВЧ діодним реактором для плазмохімічного травлення з дотриманням умов високої рівномірності. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка малогабаритного ВЧ діодного реактора з розподіленим напуском та відкачкою газу для процесів плазмохімічного травлення з високою рівномірністю.
Керівник: Дудін Станіслав Валентинович. Розробка малогабаритного ВЧ діодного реактора з розподіленим напуском та відкачкою газу для процесів плазмохімічного травлення з високою рівномірністю.. Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна. № 0108U009822
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку