Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0109U000294, ( 0211U007035  0212U000355  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичні та експериментальні дослідження методів іонно-плазмового формування наноструктур для електроніки Керівник роботи Толок Володимир Тарасович, Дата реєстрації 29-01-2009 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис роботи Експериментальне дослідження та теоретичне обґрунтування застосування іонно-плазмових методів для формування наноструктурних елементів електроніки з наперед заданими характеристиками. Визначення граничних можливостей зазначених методів стосовно розмірних та якісних параметрів наноструктур. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити