Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0109U000569, ( 0210U000738  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Встановлення кореляції між параметрами структурних елементів плівки та реальною температурою, виникаючою на поверхні росту в процесі її осадження магнетронним розпиленням Керівник роботи Шагінян Леонід робертович, Дата реєстрації 20-02-2009 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис роботи Детальне вивчення структури плівок металів Ti, Мо, W методом високорозподільної електронної мікроскопії та електронографії з метою встановлення кореляції між параметрами структурних елементів плівки та температурою, виникаючою на поверхні росту в процесі осадження плівок магнетронним розпиленням. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Встановлення кореляції між параметрами структурних елементів плівки та реальною температурою, виникаючою на поверхні росту в процесі її осадження магнетронним розпиленням
Керівник: Шагінян Леонід робертович. Встановлення кореляції між параметрами структурних елементів плівки та реальною температурою, виникаючою на поверхні росту в процесі її осадження магнетронним розпиленням. Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України. № 0109U000569
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку