Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0109U001912, Науково-дослідна робота Назва роботи Формування і стабілізація нанорозмірних плівок силіциду NiSi на монокристалічному кремнії Керівник роботи Макогон Юрій Миколайович, Дата реєстрації 06-04-2009 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою проекту є: встановлення закономірностей формування на монокристалічному кремнії Si(001) нанорозмірних плівок моносиліциду нікелю (NiSi) з питомим електроопором ~10 мкОм·см термостабільного в інтервалі 400-1000 С. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити