Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0109U004406, ( 0210U005233  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження легуючих властивостей твердих планарних джерел бору і фосфору, виготовлених на термостійких кремнієвих підкладках Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 04-06-2009 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис роботи Дослідження процесів легування пластин кремнію бором і фосфором з використанням експериментальних взірців - твердих планарних джерел Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Островський Ігор Петрович. Дослідження легуючих властивостей твердих планарних джерел бору і фосфору, виготовлених на термостійких кремнієвих підкладках. Національний університет "Львівська політехніка". № 0109U004406
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16