Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0109U005592, ( 0210U001491  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Вакуумно-плазмовий модуль для технологічного комплексу виготовлення елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Керівник роботи Руденко Едуард Михайлович, Дата реєстрації 17-06-2009 Організація виконавець Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Опис роботи Розробка та виготовлення спеціалізованої технологічної вакуумної установки - вакуумно-плазмового модуля. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Вакуумно-плазмовий модуль для технологічного комплексу виготовлення елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики
Керівник: Руденко Едуард Михайлович. Вакуумно-плазмовий модуль для технологічного комплексу виготовлення елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики. Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України. № 0109U005592
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку