Реєстраційна картка науково-дослідної роботи. Руденко Едуард Михайлович. Вакуумно-плазмовий модуль для технологічного комплексу виготовлення елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики

Інформація × Реєстраційний номер 0109U005592, ( 0210U001491  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Вакуумно-плазмовий модуль для технологічного комплексу виготовлення елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Керівник роботи Руденко Едуард Михайлович, Дата реєстрації 17-06-2009 Організація виконавець Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Опис роботи Розробка та виготовлення спеціалізованої технологічної вакуумної установки - вакуумно-плазмового модуля. Додано/оновлено в НРАТ 2024-12-10 Закрити