Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0110U002462, ( 0211U009423  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок. Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 26-02-2010 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є розробка технології низькотемпературного синтезу та дослідження властивостей орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок.
Керівник: Якименко Юрій Іванович. Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок.. Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". № 0110U002462
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-20


Роздрукувати цю сторінку