Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0110U003972, ( 0211U004837  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі, етап 1. Дослідження та оптимізація технологічних процесів формування наноструктурованих високоомних шарів карбіду кремнію товщиною 2-5 мкм на кремнієвій підкладці Керівник роботи Лопін Олександр Володимирович, Дата реєстрації 27-12-2010 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис роботи Розроблення науково-технічних рішень та базових нанотехнологій виготовлення високостабільних сенсорів температури на основі наноструктурованих шарів карбіду кремнію та впровадження їх у виробництво Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити