Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0110U004115, ( 0212U008802  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення установки протонної літографії з субмікронною роздільною здатністю. Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Дата реєстрації 29-06-2010 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис роботи Розробка та створення установки протонної літографії по схемі ядерного мікрозонду і відпрацювання технології проведення протонної літографії. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розроблення установки протонної літографії з субмікронною роздільною здатністю.
Керівник: Пономарьов Олександр Георгійович. Розроблення установки протонної літографії з субмікронною роздільною здатністю.. Інститут прикладної фізики НАН України. № 0110U004115
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку