Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0110U006408, ( 0211U004962  0212U001527  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню. Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Дата реєстрації 09-02-2012 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис роботи Разробка процесу одержання кремнію плазмохімічним відновленням тетрахлориду кремнію та трихлорсилану у низькотемпературній нерівноважній водневій плазмі. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню.
Керівник: Широков Борис Михайлович. Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню.. Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України. № 0110U006408
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку