Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0111U001005, ( 0213U005113  0213U005350  0214U002551  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Низькотемпературне одержання плівок карбіду кремнію з заданими властивостями для електроніки і оптоелектроніки Керівник роботи Семенов Олександр Володимирович, Дата реєстрації 11-01-2011 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис роботи Розробка фізико-хімічних основ низькотемпературної технології одержання на підкладках плівок карбіду кремнію та гетероструктур на їх основі з заданими електрофізичними властивостями для застосування в якості конструкційних і функціональних шарів в електроніці і оптоелектроніці Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Семенов Олександр Володимирович. Низькотемпературне одержання плівок карбіду кремнію з заданими властивостями для електроніки і оптоелектроніки. Інститут монокристалів НАН України. № 0111U001005
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18