Знайдено документів: 1
Керівник: Семенов Олександр Володимирович. Низькотемпературне одержання плівок карбіду кремнію з заданими властивостями для електроніки і оптоелектроніки.
Інститут монокристалів НАН України. № 0111U001005
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-18
