Знайдено документів: 1
Керівник: Лопін Олександр Володимирович. Розробка технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі.
Інститут монокристалів НАН України. № 0111U003019
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-16
