Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0111U010547, ( 0212U004371  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AlN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці. Керівник роботи Перекрестов В"ячеслав Іванович, Дата реєстрації 28-12-2011 Організація виконавець Сумський державний університет Опис роботи Фундаментальною метою проекту є дослідження і розробка нового технологічного напрямку формування низькорозмірних напівпровідникових систем на основі SiC, AlN, основаного на квазірівноважній стаціонарній конденсації в накопичувальних іонно-плазмових системах Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити